创锐光谱推全球首台半导体缺陷无损检测设备

2025年8月21日

（图片来自网络）

创锐光谱全球首台半导体缺陷无损检测设备亮相：大连创锐光谱科技有限公司（创锐光谱）自研的碳化硅晶圆衬底位错缺陷无损检测系统，成为全球首台基于瞬态光谱技术的第三代半导体缺陷检测设备，实现技术全自主国产化替代，并在技术指标上全面超越进口同类产品，为半导体检测行业带来革新。

在半导体领域，缺陷检测是确保芯片质量的关键环节。传统检测方法多依赖化学腐蚀，既破坏晶圆又效率低下，且国内90%半导体检测设备依赖进口。创锐光谱的这款设备，以非接触式光学无损方式检测，能快速扫描整片晶圆，识别复杂缺陷，提升检测效率与精度，打破国际巨头长期垄断。

技术突破与产业价值：
创锐光谱的核心技术是瞬态光谱，它通过时间维度与波长维度结合，获取材料动态信息，解决传统检测无法识别的缺陷。该设备可精准检测碳化硅衬底等第三代半导体的位错缺陷，实现“片片全检”，较传统抽检大幅提升良率（预计提升5 - 10%）。

此外，设备搭载AI识别功能，能自动分类上万个缺陷，提升识别率至99%以上，降低人工检测误差。目前，公司客户覆盖国内头部碳化硅产业链企业，且已出口海外，成为国内高端半导体检测设备少有的出口案例。

行业意义与未来蓝图：
该设备的推出填补了国内第三代半导体缺陷检测的技术空白，为半导体产业链供应链安全提供支撑。公司计划进一步拓展应用领域，覆盖钙钛矿光伏、Micro LED等高端制造领域，且正研发针对第四代半导体的检测设备，构建全栈式先进光谱检测技术企业。

光速光合执行董事郭斌表示，“创锐光谱的技术突破实现了从‘检测设备’到‘生产型设备’的进化，极大拓展了市场空间，我们对产业带来的持续价值充满信心。”