阿斯麦EUV光刻机实现纳米孔全晶圆级制造，推动分子传感技术发展

2025年12月22日

（图片来自网络）

比利时微电子研究中心（IMEC）成功利用阿斯麦（ASML）最先进的极紫外光刻（EUV）设备，实现了纳米孔的全晶圆级制造，这一突破为分子传感技术发展带来重大进展，也展现了光刻设备在生物医学领域的创新应用。

阿斯麦公司将其设备评价为“出人意料的卓越生物医学应用”，而纳米孔作为直径仅为数纳米（约人类头发丝万分之一）的微小孔道，在生物医学领域具有极高的研究价值。

纳米孔的作用就像一个“分子关卡”！依据分子与纳米孔的相互作用原理，可将其应用于生物医学传感器。核心原理是：当分子穿过纳米孔时，会使流经孔道的离子电流产生波动；通过分析这些波动特征，就能精准检测并识别病毒、蛋白质、脱氧核糖核酸（DNA）等单个分子，实现高灵敏度分子检测。

更值得关注的是，比利时微电子研究中心的突破还拓展了纳米孔的应用场景。调整固态纳米孔尺寸后，还可应用于过滤技术与分子数据存储领域。而且，他们在整片300毫米晶圆上成功制备出直径约10纳米的高均匀性纳米孔，既具备量产化、高精度与可重复性，有望终结纳米孔传感器长期难以落地的困局！